Systèmes de test paramétrique Keithley

Les systèmes de test paramétrique S530 ont été conçus pour les environnements de production et de laboratoire devant prendre en charge une large palette de composants et de technologies. Ils offrent les meilleures performances du marché en termes de gestion des données de test, d’intégration aux stations sous pointes, d’automatisation et de flexibilité des plans de test. La société Keithley est forte de plus de 30 ans d’expérience et d’expertise dans le domaine des testeurs paramétriques, personnalisés aussi bien que standard, destinés aux clients du monde entier pour la conception des solutions de test.

Le système de test de réception des plaques multi-site S535 est une solution haute puissance et haute résolution au niveau des plaques pour tester les périphérique analogiques, d’alimentation, à signaux mixtes et discrets dans différentes applications du workflow industriel. Contrairement aux systèmes de tests parallèles asynchrones qui testent plusieurs périphériques à la fois sur un site, les méthodes de test parallèle du S535 permettent de tester plusieurs périphérique à la fois sur plusieurs sites. L’indice de temps de test est ainsi réduit de moitié, augmentant la productivité usine et diminuant le coût des tests.

Le système de test paramétrique 540 est un système à 48 broches entièrement automatisé conçu pour tester au niveau de la plaque des composants semi-conducteurs de puissance et des structures jusqu’à 3 kV. Optimisé pour les matériaux semi-conducteurs les plus récents, tels que le carbure de silicium (SiC) et le nitrure de gallium (GaN), le système S540 entièrement intégré est capable d’effectuer tous les tests de capacité, haute tension et basse tension en un seul contact.

Les systèmes de test intégrés S500 sont des solutions hautement configurables, basées sur des instruments, et destinées à la caractérisation des semi-conducteurs au niveau du composant, de la plaque ou de la cassette. Conçus sur la base de notre instrumentation éprouvée, les systèmes de test intégrés S500 proposent des mesures novatrices et une grande flexibilité, afin de s’adapter à vos besoins. Leurs fonctionnalités de mesure uniques, associées au logiciel ACS (Automated Characterization Suite), puissant et polyvalent, offrent une palette complète d’applications et de fonctionnalités que les autres systèmes similaires du marché ne proposent pas. 

keithley-logo

Keithley Parametric Test Systems

Caractéristiques du système S530

  • Rapidement adaptable aux nouveaux composants et besoins en matière de test.
  • Développement des plans de test rapide, flexible et interactif.
  • Compatible avec les stations de probing tout automatique les plus populaires.
  • Options pour les mesures basse tension, la mesure de fréquence, la génération de pulse 1 kV et C-V.
  • Compatible avec l’adaptateur de carte à sondes Keithley 9139A.
  • Prend en charge la réutilisation des bibliothèques de cartes à sondes cinq pouces existantes.
  • Instrumentation utilisant une technologie éprouvée, qui garantit une précision et une répétabilité élevées des mesures, aussi bien en laboratoire qu’en usine.

Caractéristiques du système S535

  • Effectuez automatiquement des tests paramétriques DC de façon parallèle sur plusieurs sites ou en série. Testez deux ou quatre sites en un seul contact.
  • Jusqu’à 64 broches de test : Quatre sites de test en parallèle, 16 broches par site ; deux sites de test en parallèle, 32 broches par site ; un seul site, en série, 64 broches
  • Fonctionnel jusqu’à 100 W : 100 V à 1 A, 200 V à 100 mA
  • Environnement de test entièrement automatisé multibroche, 1 fA, avec résolution de 10 nV à haute vitesse
  • Logiciel Linux KTE (Keithley Test Environment, environnement de test Keithley), pour une compatibilité avec les anciens systèmes de test Keithley, un développement facile des tests et une exécution rapide.
  • L’infrastructure de carte à sondes (similaire au Keithley S530) prend également en charge les anciennes applications S400

Caractéristiques du système S540

  • Exécute automatiquement les tests paramétriques au niveau du wafer, jusqu’à 48 broches, notamment tension de rupture haute tension, la capacité et les mesures à basse tension, dans un format à sonde unique, sans avoir à changer de câbles ni d’infrastructure de carte à sondes.
  • Effectue les mesures de capacité du transistor en entrée (Ciss), sortie (Coss) et transfert en inverse (Crss) jusqu’à 3 kV, sans reconfiguration manuelle des broches de test.
  • Effectue des mesures performantes à bas niveau, dans un environnement de test haute vitesse, multi-broches et entièrement automatisé.
  • Logiciel Linux KTE (Keithley Test Environment, environnement de test Keithley), permettant un développement facile des tests et une exécution rapide.
  • Idéal pour les applications entièrement ou semi-automatiques, en matière d’intégration des procédés, de contrôle des procédés et de tri des puces en production.
  • Réduit le coût de possession en minimisant la durée des tests, le temps de configuration des tests et l’encombrement des équipements, tout en garantissant des performances de mesure de qualité laboratoire.

Caractéristiques du système S500

  • Gamme complète de spécifications d’unité de source et de mesure (SMU), avec notamment des mesures inférieures au fA, qui garantit une large palette de mesures sur quasiment n’importe quel composant.
  • Génération de pulse et I-V ultra-rapide pour la caractérisation de mémoires, le pompage de charge, la mesure en impulsion I/V à impulsion unique (analyse des pièges de charge) et les balayages d’impulsions (pour éviter l’échauffement).
  • Systèmes à nombre de voies faible ou élevé, incluant des tests en parallèle, compatible avec les systèmes Keithley et les unités SMU évolutives.
  • Instruments de source et de mesure haute tension, fort courant et forte puissance permettant de tester des composants tels que les MOSFET et les circuits de gestion d’écrans.
  • Connectivité avec l’équipement à tester assurée par les éléments de commutation, les cartes à sondes et le câblage.
S530/S530-HV Parametric Test Systems

Numéro du document : 1KW-60240-1
Datasheet
9139B Probe Card Adapter
The 9139B-PCA Probe Card Adapter is an option for Keithley’s S530 and S535 Parametric Test Systems and S500 Integrated Test Systems.  It also provides probe-card compatibility with Keithley’s previous generation S400 Parametric Test System.

Numéro du document : 1KW-61585-0
Datasheet
S535 Multi-Site Wafer Acceptance Test System

Numéro du document : 1KW-61422-0
Datasheet
S540 Power Semiconductor Test System Datasheet
The Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of …

Numéro du document : 1KW-60909-1
Datasheet
S500 Data Sheet
Datasheet
KIGEM Automation Software Release Notes
The release notes for KIGEM 5.7.2b.

Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test system provides an interface that complies with both the traditional SECS/GEM standards and the newer set of 300mm SEMI standards. It allows S530 systems to be integrated into fully-automated semiconductor fabrication facilities.


Numéro de référence : KIGEM-910-01B
Notes de publication
S530-S535-S540 KTE 5.8.2 Release Notes

This document contains information on enhancements, critical and noncritical fixes, and known issues for each released version of the Keithley Test Environment (KTE) software.


Numéro de référence : PA-1036V
Notes de publication
Making Ring Oscillator Measurements with the Model S530 Parametric Test System's Frequency Measurement Option
Note d’application
9139B Probe Card Adapter Gerber Files
Spécification
9140A Probe Card Adapter Gerber Files
Spécification
Measuring MOSFET Gate Charge Using the S530 and S540 Parametric Test Systems
This application note describes how to make gate charge measurements on a MOSFET based on the JEDEC Gate Charge Test Method.

Numéro du document : 1KW-61389-0
Note d’application
Multi-Site Parallel Testing with the S535 Wafer Acceptance Test System
In semiconductor wafer production, minimizing the cost of test has been identified as the number one challenge.  The biggest factor in the cost of test, as well as in the cost of test system ownership, is throughput of the tester/prober combination …

Numéro du document : 1KW-61423-0
Note d’application
Understanding Control Systems and Communications for Today's Automobiles
Fiche d’informations
Wafer Level Reliability Systems
Brochure
Greater Reliability Testing Confidence from Lab to Fab - Wafer Level Reliability Test Solutions
Keithley Instruments has long been an industry leader in both overall parametric test technology and wafer level reliability (WLR) testing. Several generations of Keithley’s parametric test solutions have offered WLR test algorithm libraries as …
Affiche
S540 Power Semiconductor Test System Specifications
Specifications document for S540 Power Semiconductor Test System

Numéro du document : SPEC-S540A
Spécification
S530 Parametric Test System Specifications
S530 Parametric Test System Specifications

Numéro du document : SPEC-S530D
Spécification
S530 Parametric Test Systems with KTE - Quick and Seamless Integration with Existing S400 and S600 Systems
Brochure
S535 Wafer Acceptance Test System Specifications
Specifications document for S535 Wafer Acceptance Test System

Numéro du document : SPEC-S535A
Spécification
S530 Semiconductor Parametric Test System: Cost effective, high throughput solutions
Fiche d’informations
Test Methods for Automobile Communication and Control Systems
Fiche d’informations
Achieving Maximum Throughput with Keithley S530 Parametric Test Systems
Keithley Instruments is a world leader in the development of precision DC electrical instruments and integrated parametric test systems. Its expertise in parametric test technology goes back to the early days of the semiconductor industry and …
Note d’application
Gearing Up for Parametric Test's High Voltage Future
Livre blanc
Performing van der Pauw Sheet Resistance Measurements Using the Keithley S530 Parametric Tester
Note d’application
Programming and Erasing Flash Memory Devices Using the Keithley S530 Pulse Generator Option
Note d’application
High Voltage Wafer Testing in a Production Environment with the HV S540 Parametric Test System

Numéro du document : 1KW-60936-2
Note d’application
Touch, Test, Invent with the Next Generation Current and Voltage Source-Measure Instruments
Fiche d’informations