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Systèmes de test paramétrique Keithley

Les technologies actuelles de semi-conducteurs analogiques et de puissance, notamment GaN et SiC, nécessitent des tests paramétriques qui optimisent les performances de mesure, prennent en charge un large éventail de produits et minimisent le coût des tests. Depuis plus de 40 ans, Keithley relève ces importants défis ainsi qu'à d'autres dans des applications critiques comme l'intégration des procédés, le contrôle des procédés, le tri des puces en production (par exemple, test d'acceptation des wafers ou test des puces reconnues fiables) et la fiabilité.

Les systèmes de test paramétrique Keithley S530 avec le logiciel KTE 7 offrent des configurations rapides et entièrement flexibles qui peuvent évoluer en fonction de l'émergence de nouvelles applications et de l'évolution des exigences. Le S530 permet de réaliser des tests jusqu'à 200 V, et le S530-HV jusqu'à 1 100 V sur n'importe quelle broche, augmentant le débit jusqu'à 50 % par rapport aux solutions concurrentes. La nouveauté du logiciel KTE 7 consiste en une tête de test du système en option qui permet de l'arrimer directement à une sonde et de réutiliser des cartes de sondes existantes, de procéder à un étalonnage de broche ISO-17025 au niveau du système en respectant les exigences de la norme automobile IATF-16949, et qui offre le chemin de migration le plus facile et le plus fluide à partir des systèmes existants S600 et S400, avec une corrélation complète des données et des vitesses supérieures.

Entièrement automatisé et comportant 48 broches, le système de test paramétrique 540 est dédié aux tests au niveau du wafer des composants et structures à semi-conducteurs de puissance jusqu'à 3 kV. Optimisé pour les matériaux semi-conducteurs de puissance composée les plus récents, notamment le carbure de silicium (SiC) et le nitrure de gallium (GaN), le système S540 entièrement intégré est capable d'effectuer tous les tests haute tension, basse tension et de capacité en un seul contact.

Hautement configurables et basés sur des instruments, les systèmes de test intégrés S500 sont dédiés à la caractérisation des semi-conducteurs au niveau du composant, du wafer ou de la cassette. Conçus sur la base de notre instrumentation éprouvée, les systèmes de test intégrés S500 proposent des mesures novatrices et une grande flexibilité, afin de s’adapter à vos besoins. La capacité de mesure unique, combinée au logiciel ACS (Automated Characterization Suite), à la fois puissant et flexible, offre une gamme complète d'applications et de fonctionnalités non proposées sur d'autres systèmes comparables sur le marché.

 

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Téléchargements
Systèmes de test paramétrique Keithley

Caractéristiques du système S530

  • Options d'interface de sonde flexibles avec tête de test et prenant en charge les installations héritées Keithley et Keysight
  • Environnement logiciel KTE conforme aux normes du secteur
  • Test complet des paramètres HV et LV en un seul contact
  • Étalonnage entièrement automatisé au niveau du système grâce à une nouvelle unité de référence du système répondant aux normes de qualité les plus récentes
  • Outils logiciels de contrôle d'état dans KTE 7 optimisant la disponibilité du système et l'intégrité des données
  • Protection intégrée contre les surtensions transitoires et/ou les surintensités permettant de minimiser les temps d'arrêt coûteux du système et l'endommagement des wafers
  • Respect des exigences d'étalonnage ISO-17025 et de la conformité IATF-16949
  • Fournit une intégration SECS/GEM avec fabrication de wafers de 300 mm

Caractéristiques du système S540

  • Exécute automatiquement les tests paramétriques au niveau du wafer, jusqu’à 48 broches, notamment tension de rupture haute tension, la capacité et les mesures à basse tension, dans un format à sonde unique, sans avoir à changer de câbles ni d’infrastructure de carte à sondes.
  • Effectue les mesures de capacité du transistor en entrée (Ciss), sortie (Coss) et transfert en inverse (Crss) jusqu’à 3 kV, sans reconfiguration manuelle des broches de test.
  • Effectue des mesures performantes à bas niveau, dans un environnement de test haute vitesse, multi-broches et entièrement automatisé.
  • Logiciel Linux KTE (Keithley Test Environment, environnement de test Keithley), permettant un développement facile des tests et une exécution rapide.
  • Idéal pour les applications entièrement ou semi-automatiques, en matière d’intégration des procédés, de contrôle des procédés et de tri des puces en production.
  • Réduit le coût de possession en minimisant la durée des tests, le temps de configuration des tests et l’encombrement des équipements, tout en garantissant des performances de mesure de qualité laboratoire.

Caractéristiques du système S500

  • Gamme complète de spécifications d’unité de source et de mesure (SMU), avec notamment des mesures inférieures au fA, qui garantit une large palette de mesures sur quasiment n’importe quel composant.
  • Génération de pulse et I-V ultra-rapide pour la caractérisation de mémoires, le pompage de charge, la mesure en impulsion I/V à impulsion unique (analyse des pièges de charge) et les balayages d’impulsions (pour éviter l’échauffement).
  • Systèmes à nombre de voies faible ou élevé, incluant des tests en parallèle, compatible avec les systèmes Keithley et les unités SMU évolutives.
  • Instruments de source et de mesure haute tension, fort courant et forte puissance permettant de tester des composants tels que les MOSFET et les circuits de gestion d’écrans.
  • Connectivité avec l’équipement à tester assurée par les éléments de commutation, les cartes à sondes et le câblage.